高性能熱像儀的紅外探測(cè)器主要有熱釋電和微測(cè)輻射熱計(jì)兩種。盡管微測(cè)輻射熱計(jì)自1886年就開(kāi)始出現(xiàn)，但早期的器件研究都是圍繞輻射計(jì)量開(kāi)展的，將其應(yīng)用于熱像儀當(dāng)中是近幾十年的事情。

在1981~1992年間，在美國(guó)國(guó)防部預(yù)研局和軍方的支持下，美國(guó)霍尼韋爾研究中心秘密開(kāi)展了對(duì)微測(cè)輻射熱計(jì)紅外探測(cè)器的研究。經(jīng)過(guò)12年的努力，研究終于成功，在研究塵埃落定后，美國(guó)才將微測(cè)輻射熱計(jì)技術(shù)部分公開(kāi)。微測(cè)輻射熱計(jì)紅外探測(cè)器的研制成功，主要依靠?jī)身?xiàng)關(guān)鍵技術(shù)：一是優(yōu)良的熱敏材料，二是探測(cè)器與襯底間的絕熱結(jié)構(gòu)。在熱敏材料方面，霍尼韋爾研究中心利用混合相氧化釩薄膜作為微測(cè)輻射熱計(jì)的熱敏材料，該薄膜在室溫時(shí)的電阻溫度系數(shù)為-2%K-1，為金屬薄膜的五至十倍，且淀積溫度較低，能與讀出電路兼容。在器件結(jié)構(gòu)方面，霍尼韋爾研究中心研制了雙層微橋結(jié)構(gòu)以減少探測(cè)器與襯底間的熱導(dǎo)，獲得了接近輻射極限的低熱導(dǎo)，大幅度提高了器件性能。

微測(cè)輻射熱計(jì)紅外熱像儀的優(yōu)勢(shì)在于：一、制作技術(shù)與互補(bǔ)型金屬氧化物半導(dǎo)體兼容，采用半導(dǎo)體工藝技術(shù)可以大量制作紅外探測(cè)器，降低生產(chǎn)成本。二、工作時(shí)無(wú)需調(diào)節(jié)電流，解除成像系統(tǒng)的活動(dòng)部件以增加穩(wěn)定性，探測(cè)器的使用壽命更長(zhǎng)，操作與維護(hù)簡(jiǎn)單方便。三、由于采用了熱絕緣微橋結(jié)構(gòu)，列陣中的像元與像元之間幾乎完全熱隔離，因此熱像圖更加清晰。四、拍攝成像速度快，可以拍攝到最貼近實(shí)時(shí)狀況的熱像圖。五、響應(yīng)動(dòng)態(tài)范圍廣，線性度好，具有潛在的高熱靈敏度。

微測(cè)輻射熱計(jì)紅外熱像儀的研究成功引起世界矚目。目前，320×240氧化釩微測(cè)輻射熱計(jì)紅外熱像儀的制作技術(shù)已經(jīng)成熟并批量生產(chǎn)，焦平面更大的如640×480氧化釩紅外熱像儀也已經(jīng)開(kāi)發(fā)成功并投入市場(chǎng)，像元尺寸也由50納米×50納米逐步減小至25納米×25納米，微測(cè)輻射熱計(jì)紅外熱像儀在軍事、民用等廣泛領(lǐng)域中受到了重用。
微測(cè)輻射熱計(jì)紅外探測(cè)器可以說(shuō)是現(xiàn)時(shí)最先進(jìn)的探測(cè)器，上海巨哥電子科技有限公司不但掌握著制造熱像儀的先進(jìn)技術(shù)，還一直致力于制造最好的熱像儀。