矽翔微機電系統(tǒng)有限公司（矽翔公司，Siargo Ltd. ）成立于2003年，公司總部位于美國加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生產具有自主知識產權、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計并使之產品化的廠商。其核心部件一MEMS流量芯片及其專利封裝技術由公司自主研發(fā)，可用于各類氣體及微流體的流量計量和測控，為傳統(tǒng)的流體計量帶來了根本性變革，提供了全新的拓展空間。
        矽翔公司基于MEMS 技術的流量芯片廣泛應用于醫(yī)療麻醉與呼吸設備，工業(yè)制造業(yè)用氣測量及過程控制，環(huán)保等多個領域；在醫(yī)院中心供氧、制氧設備、分床計費系統(tǒng)，食品加工，科學氣體分析儀器，樓宇自控，民用健身、設備等領域也有廣泛的應用；在全新的燃料電池等尖端科技領域亦有不可替代的應用。 目前，產品已銷售到美國、日本、歐洲、南美、大洋洲、東南亞等多個國家和地區(qū)。
        矽翔公司是GB/T 20727-2006《熱式質量流量計》起草單位之一。